半导体行业设备名称大全(半导体设备名称)
- 起名
- 2025-08-09 00:13:10
半导体行业涉及多种设备，以下是一些常见的半导体设备名称：
1. 光刻机（Photolithography Equipment）
- 光刻机分为晶圆级光刻机（Wafer Stepper）和芯片级光刻机（Chip Stepper）。
2. 刻蚀机（Etching Equipment）
- 湿法刻蚀机（Wafer Wet Etching Equipment）
- 干法刻蚀机（Wafer Dry Etching Equipment）
3. 化学气相沉积（CVD）设备（Chemical Vapor Deposition Equipment）
- 多层CVD设备（Multi-Layer CVD Equipment）
- 低应力CVD设备（Low Stress CVD Equipment）
4. 物理气相沉积（PVD）设备（Physical Vapor Deposition Equipment）
- 真空镀膜设备（Vacuum Evaporation Coating Equipment）
- 离子束沉积设备（Ion Beam Sputtering Equipment）
5. 离子注入机（Ion Implanter）
- 热离子注入机（Thermal Ion Implanter）
- 电子束离子注入机（Electron Beam Ion Implanter）
6. 离子束刻蚀机（Ion Beam Etching Equipment）
- 高能离子束刻蚀机（High Energy Ion Beam Etching Equipment）
7. 化学机械抛光（CMP）设备（Chemical Mechanical Planarization Equipment）
- 单晶硅CMP设备（Single Crystal Silicon CMP Equipment）
- 多晶硅CMP设备（Polycrystalline Silicon CMP Equipment）
8. 切片机（Wafer Saw）
- 单晶硅切片机（Single Crystal Silicon Saw）
- 多晶硅切片机（Polycrystalline Silicon Saw）
9. 离子束光刻机（Ion Beam Lithography Equipment）
10. 气相传输设备（Gas Phase Transport Equipment）
11. 化学气相输运（CVD）设备（Chemical Vapor Transport Equipment）
12. 化学机械清洗（CMP）设备（Chemical Mechanical Cleaning Equipment）
13. 真空设备（Vacuum Equipment）
- 真空泵（Vacuum Pump）
- 真空室（Vacuum Chamber）
14. 离子源（Ion Source）
15. 红外加热器（Infrared Heater）
16. 超声波清洗设备（Ultrasonic Cleaning Equipment）
17. 离子束分析设备（Ion Beam Analysis Equipment）
- 能量色散X射线光谱仪（Energy Dispersive X-ray Spectrometer, EDX）
- 粒子束反射式高能电子衍射（Particle Beam Reflecting High Energy Electron Diffraction, PBED）
18. 光学检测设备（Optical Inspection Equipment）
- 自动光学检测（AOI）系统
- 超分辨光学显微镜（Super-Resolution Optical Microscope）
19. 量测设备（Measurement Equipment）
- 三坐标测量机（CMM）
- 机器视觉系统（Machine Vision System）
20. 环境控制设备（Environmental Control Equipment）
- 精密空调系统（Precision Air Conditioning System）
- 无尘室（Clean Room）
这些设备名称只是半导体行业中的一部分，实际上还有很多其他的专业设备和工具。
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