半导体行业涉及大量的设备和工具,以下是一些常见的半导体设备名称及其所属的名企:
1. 光刻设备
- ASML(荷兰):提供高端光刻机,如TwinScan系列。
- Nikon(日本):生产NEXX系列光刻机。
- Canon(日本):提供LithoPro系列光刻机。
2. 刻蚀设备
- Applied Materials(美国):提供用于晶圆加工的刻蚀设备,如ATLAS系列。
- ASML(荷兰):提供用于光刻后的刻蚀设备。
- Tokyo Electron(日本):提供ACE系列刻蚀设备。
3. 离子注入设备
- Varian Semiconductor Equipment Associates(美国):提供离子注入设备,如IHI系列。
- Axcelis Technology(美国):提供用于半导体制造的离子注入设备。
4. 化学气相沉积(CVD)设备
- Applied Materials(美国):提供用于薄膜沉积的CVD设备,如PDK系列。
- Lam Research(美国):提供用于CVD的设备,如Tandem etch系列。
- Tokyo Electron(日本):提供用于CVD的设备,如Fused Silica系列。
5. 物理气相沉积(PVD)设备
- Oxford Instruments(英国):提供用于PVD的设备,如PLATINUM系列。
- Entegris(美国):提供用于PVD的设备,如VaporTech系列。
6. 气相传输设备
- Entegris(美国):提供用于气相传输的设备,如AirLift系列。
- Novellus Systems(美国):提供用于气相传输的设备,如Mistra系列。
7. 洗片机
- Tokyo Electron(日本):提供用于晶圆清洗的设备,如Cleantech系列。
- Applied Materials(美国):提供用于晶圆清洗的设备,如Wet bench系列。
8. 晶圆检测设备
- KLA-Tencor(美国):提供用于晶圆检测的设备,如VeriFlex系列。
- Hitachi High-Technologies(日本):提供用于晶圆检测的设备,如Alpha系列。
9. 离子束设备
- Oxford Instruments(英国):提供用于离子束处理的设备,如ION series。
- Hitachi High-Technologies(日本):提供用于离子束处理的设备,如HiPIMS系列。
10. 测试与测量设备
- Keysight Technologies(美国):提供用于半导体测试的设备,如U2730A系列。
- Rohde & Schwarz(德国):提供用于半导体测试的设备,如N5182A系列。
这些设备和工具在半导体制造过程中扮演着至关重要的角色,确保了半导体产品的质量和性能。
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